[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹®Ã¤¼® ±âÀÚ] »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 30ÀϺÎÅÍ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÑ 3nm(³ª³ë¹ÌÅÍ) °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÈ °ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå(GAA) ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼´Â ±âÁ¸ 7³ª³ë ÇÉÆê(FinFET) °øÁ¤À¸·Î ¸¸µç ¹ÝµµÃ¼º¸´Ù ¼º´ÉÀ» Å°¿ì°í ¼Òºñ Àü·Âµµ ÁÙÀÎ °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù.
1³ª³ë¹ÌÅÍ´Â '10¾ïºÐÀÇ 1m'·Î, ¸Ó¸®Ä«¶ô ±½±âÀÇ 10¸¸ºÐÀÇ 1 Á¤µµÀÇ ±æÀ̸¦ ³ªÅ¸³½´Ù. 3³ª³ë´Â ¹ÝµµÃ¼¿¡ ±×¸± ¼ö ÀÖ´Â Àü±â ȸ·ÎÀÇ ¼±ÆøÀÌ 3³ª³ë¹ÌÅͶó´Â °ÍÀ¸·Î Çö ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ÀÎ 4³ª³ë ¹ÝµµÃ¼º¸´Ù ȸ·ÎÀÇ ¼±Æø ±½±â¸¦ ´ëÆø ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ±â¼ú·Î ²ÅÈù´Ù.
Å©±â¸¸ Çõ½ÅÀ» Çس½ °Ô ¾Æ´Ï´Ù. Àü·ù°¡ È帣´Â 'ä³Î'À» Àü·ù¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â '°ÔÀÌÆ®'·Î µÑ·¯½Î´Â Â÷¼¼´ë GAA °øÁ¤ ±â¼ú±îÁö ¸¸µé¾î³Â´Ù.
¹ÝµµÃ¼´Â Æ®·£Áö½ºÅÍ, °ÔÀÌÅÍ, ä³Î µîÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø´Ù. ÇÑÁ¤µÈ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ¾ñÀ¸·Á¸é Æ®·£Áö½ºÅÍ Å©±â¸¦ ÁÙ¿©¾ß ÇÑ´Ù. Àü·Â ¼Ò¸ð¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇØ ¹ß¿Àº ÁÙÀÌ°í ¹èÅ͸® ¼ö¸íÀº ´Ã·Á¾ß ÇÑ´Ù.
À̹ø¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¸¸µç Â÷¼¼´ë GAA ±â¼úÀº Æ®·£Áö½ºÅÍ ³» 'ä³Î' 4°³¸éÀ» '°ÔÀÌÆ®'°¡ µÑ·¯½Îµµ·Ï ¸¸µé¾ú´Ù. 3°³¸é¸¸ °¨½Î´Â ±âÁ¸ ÇÉÆ꺸´Ù °ÔÀÌÆ® ¸éÀûÀ» ³ÐÈú ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿¡ µû¸¥ Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼º´É ÀúÇϸ¦ ±Øº¹ÇÏ°í µ¥ÀÌÅÍ Ã³¸® ¼Óµµ¿Í Àü·Â È¿À²Àº ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
¸ð¾çµµ '¾ã°í ³Ð°Ô' ¸¸µé¾ú´Ù. ¿ÍÀ̾î ÇüÅÂÀÇ Ã¤³Î ±¸Á¶¸¦ ¾ãÀº Á¾ÀÌ ¸ð¾çÀÇ '³ª³ë½ÃÆ®' ÇüÅ·Π±¸ÇöÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ÇüÅ·Π¸¸µç 'MBCFET' °øÁ¤À» µ¶ÀÚ ±¸ÃàÇß´Ù. ÀÌ ³ª³ë½ÃÆ® GAA ±¸Á¶ Àû¿ë¿¡ 3³ª³ë ¼³°è °øÁ¤ ±â¼ú °øµ¿ ÃÖÀûÈ(DTCO)±îÁö Çß´Ù. À̸¦ Çѵ¥ ¸ðÀº »ï¼ºÀüÀÚ 3³ª³ë GAA 1¼¼´ë °øÁ¤Àº ±âÁ¸ 5³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ ¼º´É 23% Çâ»ó, Àü·Â 45% Àý°¨, ¸éÀûÀº 16% °¨¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. GAA 2¼¼´ë °øÁ¤À¸·Î À̾îÁö¸é ¼º´É 30% Çâ»ó, Àü·Â 50% Àý°¨, ¸éÀû 35% Ãà¼Ò±îÁö ±¸Çö °¡´ÉÇÏ´Ù.
»ï¼ºÀº Ĩ ¼³°è¿Í °ËÁõ °úÁ¤¿¡¼ ½Ã³ô½Ã½º, ÄÉÀÌ´ø½º µî ÆÄÆ®³Êµé°ú Çù¾÷Çß´Ù. ÆÄÆ®³Ê¿¡ 3³ª³ë °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ÀÎÇÁ¶ó¡¤¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇØ °í°´µéÀÌ ºü¸£°Ô Á¦Ç° ¿Ï¼ºµµ¸¦ ³ôÀ̵µ·Ï ½Ã½ºÅÛÀ» °ÈÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀº 'Å©±â(3³ª³ë)+°øÁ¤(GAA)' µÎ ºÎºÐ¿¡¼ TSMC µî ÁÖ¿ä °æÀïÀÚº¸´Ù ¾Õ¼³ª°¥ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. ¿©±â±îÁö 17³âÀÌ °É·È´Ù. 2005³â ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷¿¡ ¶Ù¾îµç »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2011³â ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 32³ª³ë °øÁ¤¿¡ ¼º°øÇÏ¸é¼ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼ú °æÀï¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù.
2017³â¿£ ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¼ú ±â¹Ý 7³ª³ë °øÁ¤À» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÑ ÈÄ 2018³â ¾ç»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù. 2019³â¿¡´Â EUV ±â¹Ý 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß¿¡µµ ¼º°øÇß´Ù. »ï¼ºÀÌ ¸¸µé¸é ´ëºÎºÐ ¼¼°è ÃÖÃÊ¿´´Ù. ¡®ÃÊ°ÝÂ÷ °æ¿µ¡¯À̶õ ºê·£µå¸¦ ÀÚ½ÅÀÖ°Ô ³»³õÀ» ¼ö ÀÖ¾ú´ø ÀÌÀ¯´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ ÁøÃâ ÈÄ ²¿¹Ú 6³âÀ» ÅõÀÚÇØ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 32³ª³ë HKMG °øÁ¤À» ¾ç»êÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌÈÄ ¶Ç 4³âÀ» ÅõÀÚÇØ À̹ø¿£ ÇÉÆê °øÁ¤À» °³¹ßÇß´Ù. 32³ª³ë Å©±â¿´´ø ¼±ÆøÀº 14³ª³ë·Î Àý¹Ý ÀÌ»ó ÁÙ¿´´Ù. ¹°·Ð '¾ç»ê ½ÃÁ¡' ±âÁØÀÌ´Ù. ÇÉÆêµµ ù ¾ç»ê ´ç½Ã¿£ Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼úÀ̾ú´Ù. 3¸é¿¡¼ °ÔÀÌÆ®¿Í ä³ÎÀÌ ¸¸³ªµµ·Ï Ç߱⠶§¹®ÀÌ´Ù.
±×·³¿¡µµ ¼¼°èÀÇ Æø¹ßÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä, ÆÄ¿îµå¸® ¾÷üµéÀÇ ¼³°è ¹× CPU Á¦Á¶ ´É·Â ±¸Ãà ÇÑ°è µî ¿©·¯ ÀÌÀ¯·Î °øÁ¤ ¼öÁØÀ» ³ôÀ̱â À§ÇÑ °æÀïÀº ³¡ÀÌ ¾ø¾ú´Ù.
À̳¯ »ï¼ºÀº ¼¼°è¿¡¼ óÀ½À¸·Î 3³ª³ë+GAA °íÁö¿¡ ¾ÈÂøÇß´Ù. °èȹ´ë·Î¶ó¸é 2025³â »ó¹Ý±â¿£ 2³ª³ë·Î Å©±â¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹°·Ð GAA °øÁ¤À» Àû¿ë, '2³ª³ë GAA'·Î °£´Ù. ¹ßÇ¥´ë·Î¶ó¸é ÀÎÅÚÀº 2024³â ÇϹݱ⿡ TSMC´Â 2025³â »ó¹Ý±â¿¡¾ß ÀÌ °æÁö¿¡ ´Ù´Ù¸£°Ô µÈ´Ù. ´Ü, ÀÎÅÚÀº 2³â°£, TSMC´Â 3³â°£ ÇÉÆê °øÁ¤¿¡ ¸Ó¹«¸¥´Ù. Áï, À̳¯ »ï¼ºÀÌ 3³ª³ë GAA¿¡ ¾ÈÂøÇÏ¸é¼ ÃÖ¼Ò '2~3³â'À» ¹ú ¼ö ÀÖ°Ô µÈ ¼ÀÀÌ´Ù. 17³â°£ °¢°íÀÇ ³ë·ÂÀ» ÇÑ ³¡¿¡ ¼¼°è 2À§±Ç°úÀÇ °ÝÂ÷¸¦ 2~3³âÀ¸·Î ¹ú¸± ¼ö ÀÖ°Ô µÈ ¼ÀÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¼öÀ²(ÇÕ°ÝÇ° ºñÀ²)À» ÃÖ´ëÇÑ ³ô¿© ½ÃÀåÀÇ ¿ì·Á¸¦ ÁøÁ¤½ÃÅ°°í ´ÙÀ½ ±â¼ú °³¹ß ¼Óµµµµ 'ÃÊ°ÝÂ÷'¸¦ À¯ÁöÇÒ ¹æħÀÌ´Ù. ¹®Ã¤¼® ±âÀÚ chaeso@asiae.co.kr
|