청주 SK하이닉스 캠퍼스에서 작업자 2명이 유독 화학물질에 노출돼 병원으로 이송됐다.
10일 SK하이닉스에 따르면 이날 오후 3시 58분께 청주 SK하이닉스 4캠퍼스에서 장비를 옮기던 작업자 2명이 유독 화학물질인 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)으로 추정되는 액체와 접촉했다.
해당 작업자들 병원으로 옮겨졌으며, 이송 당시 특이 증세는 보이지 않았던 것으로 전해졌다.
TMAH는 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼의 세정과 현상 공정에 널리 사용되는 강알칼리성 화학물질이다.
피부나 눈, 호흡기 접촉 시 심각한 손상을 유발해 단순 피부 접촉만으로도 사망에 이를 수 있다.
관계 당국은 작업자들이 운반하던 장비에서 TMAH가 누출된 것으로 추정하고 대응에 나섰지만, 1차 성분 측정 결과 독성 물질은 검출되지 않은 것으로 전해졌다.
관계 당국은 장비를 세척한 뒤 완전히 건조하지 않은 상태로 운반하는 과정에서 TMAH가 물기에 섞여 떨어졌을 가능성을 염두에 두고 정확한 경위를 조사하고 있다.
SK하이닉스 청주사업장에서 사고가 발생한 건 이번이 처음이 아니다.
앞서 지난 1일에는 SK하이닉스 청주 4캠퍼스 내 M15 공장과 M15X 공장을 잇는 6층 가스룸에서 불이 나 미량의 불소가 누출된 바 있다.
지난달 27일에는 M11공장 내 반도체 가공 설비에서 불꽃이 튀어 직원들이 약 1시간 동안 대피하기도 했다.
김진영 기자 camp@asiae.co.kr
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