[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ] ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÌ Áö³ 4ÀϺÎÅÍ 5ÀϱîÁö ÀÌƲ µ¿¾È ÀϹÝÅõÀÚÀÚ¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÁøÇàÇÑ °ø¸ðÁÖ Ã»¾à¿¡¼ ºñ·Ê °æÀï·ü ±âÁØ 1363´ë 1ÀÇ °æÀï·üÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
ÃÑ °ø¸ðÁֽļö 240¸¸ÁÖÀÇ 25%ÀÎ 60¸¸ÁÖ¿¡ ´ëÇØ ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀ» ÁøÇàÇß´Ù. ¿µÃ¢ÄɹÌÄ® ÄÚ½º´Ú »óÀå ÁÖ°ü»çÀÎ ÇϳªÁõ±Ç¿¡ µû¸£¸é 3Á¶8062¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇϴ û¾à Áõ°Å±ÝÀÌ ¸ô·È´Ù. 4¾ï928¸¸ÁÖ Ã»¾àÀÌ Á¢¼öµÆÀ¸¸ç ±Õµî ¹èÁ¤À» °í·ÁÇÑ Àüü °æÀï·üÀº 682´ë 1ÀÌ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº Áö³´Þ 27ÀÏ°ú 28ÀÏ ±â°üÅõÀÚ°¡¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ¼ö¿ä¿¹ÃøÀ» Çß´Ù. °ø¸ð°¡¸¦ °ø¸ð Èñ¸Á°¡ ¹üÀ§ »ó´ÜÀÎ 1¸¸8600¿øÀ¸·Î È®Á¤Çß´Ù. ±¹³»¿Ü ÃÑ 1702°³ ±â°üÀÌ Âü¿©ÇØ °æÀï·ü 1616´ë 1À» ±â·ÏÇß´Ù.
±¸ÁÖ ¸ÅÃâÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº ¾à 446¾ï¿øÀ̸ç, ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå »óÀå ¿¹Á¤ÀÏÀº ¿À´Â 14ÀÏÀÌ´Ù. °ø¸ð°¡ ±âÁØ ½Ã°¡ÃѾ×Àº 1881¾ï¿øÀÌ´Ù.
À̽ÂÈÆ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ® ´ëÇ¥´Â "ÄÚ½º´Ú »óÀåÀ» °è±â·Î 6G, AI, ¸ÞŸ¹ö½º, ÀÚÀ²ÁÖÇà ÀÚµ¿Â÷ µî 4Â÷ »ê¾÷ÀÇ ÇÙ½ÉÀ¸·Î ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ´Â Àü¹æ½ÃÀåÀ» °Ü³ÉÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °ÈÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
2001³â ¼³¸³µÈ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ģȯ°æ¿¡³ÊÁö »ê¾÷¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â ÈÇмÒÀç °³¹ß ¹× »ý»ê¾÷ü´Ù. ÁÖ¿ä Á¦Ç°Àº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×), À¯±â ÇÏµå ¸¶½ºÅ©(HT-SOC), ½½·¯¸®(Slurry), ¸°½Ì ¼Ö·ç¼Ç(Rinsing Solution), µðº§·ÎÆÛ(Developer), ½Ä°¢¾×(Etchant), ½ºÆ®¸®ÆÛ(Stripper) µîÀÌ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº Áö³ÇØ ¸ÅÃâ¾× 664¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 22¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. ¿ÃÇØ 1ºÐ±â¿¡ ¸ÅÃâ¾× 197¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 14¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù. Àü³â µ¿±â ´ëºñ °¢°¢ 36.9%, 229.0% ´Ã¾ú´Ù. ½ÅÁ¦Ç° '±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º¡¯ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÏ°í »ý»ê´É·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖ¾î ½ÇÀûÀÌ ÁÁ¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇß´Ù. ¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ parkhs@asiae.co.kr
|