¿µ±¹ ¿¡µå¿öµå°¡ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ÇٽɺÎÇ° »ý»ê°øÀåÀ» 14ÀÏ ÁØ°øÇß´Ù.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ´Â ÃÖ¿ì¼® ¹«¿ªÅõÀÚ½ÇÀåÀÌ À̳¯ Ãæ³² ¾Æ»ê¿¡¼ °³ÃÖµÈ ¿µ±¹ ¿¡µå¿öµå»çÀÇ ½Å±Ô EUV ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ÇÙ½É ºÎÇ° »ý»ê°øÀå ÁØ°ø½Ä¿¡ Âü¼®Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿ë Áø°øÆßÇÁ »ý»ê ºÐ¾ß ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÎ ¿¡µå¿öµå »ç´Â ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·Â°ú ¿ì¼öÇÑ Àη ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î 2009³â¿¡ º»±¹¿¡ ¼ÒÀçÇÑ »ý»ê½Ã¼³À» ¸ðµÎ Çѱ¹À¸·Î ÀÌÀüÇß´Ù. ÀÌÈÄ À̹ø¿¡ ÁØ°øµÈ °øÀåÀ» Æ÷ÇÔÇØ Áö±Ý±îÁö õ¾È°ú ¾Æ»ê¿¡ ÃÑ 5°³¼Ò °øÀåÀ» ¼³¸³ÇßÀ¸¸ç Áö³ 1¿ù¿¡´Â Á¤Àα³ Åë»ó±³¼·º»ºÎÀåÀÌ ±âÁ¸ ¾Æ»ê°øÀåÀ» ¹æ¹®ÇÏ¿© ÇâÈÄ ÅõÀÚ°èȹ ³íÀÇ¿Í ÇÔ²² ¾Ö·ÎÇØ¼Ò µîÀ» Áö¿øÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ À̹ø »ý»ê°øÀå¿¡¼´Â EUV ³ë±¤°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Àåºñ¸¦ À§ÇÑ ÅëÇÕ Áø°ø ¼Ö·ç¼Ç ¹× °¡½ºÃ³¸®ÀåÄ¡ µîÀ» »ý»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº µî°ú °°Àº ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¾÷¿¡ °ø±ÞµÉ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÀÎÅÚ, TSMC µîÀÇ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷À¸·Îµµ ¼öÃâµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤ÀÎ ³ë±¤ °øÁ¤ÀÇ ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ø±Þ¸ÁÀ» ¾ÈÁ¤ÈÇÏ°í ±¹³» ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ý»ê °æÀï·ÂÀ» °ÈÇØ ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°ÝÂ÷¸¦ ´Þ¼ºÇÏ´Â µ¥¿¡ Àû±ØÀûÀ¸·Î ±â¿©ÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ¿ì¼öÇÑ ±¹³»¡¤¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷°úÀÇ Çù·Â°ü°è¸¦ °ÈÇÒ °ÍÀ¸·Î Æò°¡µÈ´Ù. ¶Ç ¿¬°£ 3000¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ ¼öÃâ, Áö¿ª ÀÏÀÚ¸® âÃâ µî ¿ì¸® °æÁ¦ Àü¹Ý¿¡µµ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î »ê¾÷ºÎ´Â ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÃÖ ½ÇÀåÀº "¿¡µå¿öµåÀÇ À̹ø ÅõÀÚ´Â °æÁ¦ ¾Èº¸ Ãø¸é¿¡¼µµ Å« Á߿伺À» °®´Â´Ù"¸é¼ "¿¡µå¿öµå°¡ Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Çõ½Å°ú ¹Ì·¡¸¦ ÇÔ²² À̲ø¾î°¡´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇØ´Þ¶ó"°í ¸»Çß´Ù.
¼¼Á¾=ÁÖ»óµ· ±âÀÚ don@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |